УДК 621.3.049.77.001

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов

Спирин В. Г.

Ключевые слова: тестовая схема, производственные систематические и случайные погрешности, тонкопленочные элементы, алгоритм расчета.

Разработаны тестовая схема и алгоритмы расчета для определения систематических и случайных погрешностей конструктивных параметров тонкопленочного резистора. Проведена экспериментальная оценка этих погрешностей. Приведены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.

Россия, г. Арзамас, НПП "Темп-Авиа".

***

Evaluation of errors in thin-film component manufacturing

V. G. Spirin

The test circuit and computational algorithm for determining systematic/random errors of the thin-film resistor design values are developed. The experimental evaluation of the above errors is conducted. Formulas for size calculation of conductors and terminations pads are given.