УДК 621.3.049.77.001

Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

Спирин В. Г.

Ключевые слова: компенсация систематических погрешностей, тонкопленочные элементы, выход годных микросборок.

Рассмотрено несколько способов компенсации систематических погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных резисторов, определяющих выход годных микросборок. Предложена компенсация путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам, которая позволит значительно уменьшить размеры всех тонкопленочных элементов без уменьшения процента выхода годных микросборок.

Россия, г. Арзамас, НПП "Темп-Авиа".

***

Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements

V. G. Spirin

Several methods of compensation for systematic errors of the thin-film resistor design values which defim the yield of effective micromodules are discussed. The compensation by means of changing dimensions of mask elements using certain algorithms is proposed that permits to reduce dimensions of all the thin-film components without reduction of the yield of effective micromodules.