УДК 551.508.952:681.7.064

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

Джавадов Н. Г.

Ключевые слова: спектральные фильтровые приборы, озонометр, фоторезистор, пленка поликристаллического кремния, размер зерна, фоточувствительность.

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы.

Азербайджан, г. Баку, ПО "Промавтоматика".

***

The estimation of reliable for atmosphere’s small gas components measurement by spectral devices on the filters

Javadov N. G.

It was suggested to use the fine polycrystalline silicon films for photodetectors, more over the spectral range may be regulated by technological conditions of films growth.