УДК 621.382

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди
на их свойства

Алиева Х. С.

Ключевые слова: газочувствительный элемент, резистивная структура, напыление пленок, детектирующие характеристики фталоцианина меди.

Исследования показали, что пленки фталоцианина меди, обладая совокупностью уникальных свойств, могут успешно применяться в качестве газочувствительных покрытий резистивных структур. Толщина пленки, в отличие от температуры, не является определяющим фактором для получения высокой чувствительности. Относительно низкая рабочая температура таких структур позволяет эксплуатировать газодетекторы в экономичном режиме.

Азербайджан, г. Баку, Национальное аэрокосмическое агентство.