УДК 621.362:621.383

Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем

Дранчук С. Н., За­вад­ский В. А., Мокрицкий В. А.

Ключевые слова: эпитаксия, массоперенос, диффузия, раствор-расплав, подложка, режим, слои, температура.

Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано прак­ти­чес­кое применение обнаруженного явления.

Украина, Одесская национальная морская академия, Одесский национальный политехнический университет.