http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2015.1.49

УДК 621.315.612

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС-диметилфосфит-триме­тил­борат

Турцевич А. С., Наливайко О. Ю.
(на английском языке)

Ключевые слова: борофосфоросиликатное стекло, осаждение, планарность топологического рельефа.

Проведена модернизация горизонтального реактора пониженного давления. Разработана система подачи жидкого реагента с использованием барботеров. Исследованы процессы осаждения пленок и свойства пленок ФСС и БФСС с использованием системы ТЭОС-диметилфосфит(ДМФ)-триметилборат(ТМФ).

Республика Беларусь, г, Минск, ОАО «ИНТЕГРАЛ».